隨著(zhù)科技的飛速發(fā)展，半導體工廠(chǎng)對于自動(dòng)化生產(chǎn)模式產(chǎn)生了迫切的需求。通過(guò)AMHS智能物流系統在各個(gè)工藝設備之間進(jìn)行物料傳輸，不僅可以提高工廠(chǎng)的生產(chǎn)效率，還可以監控物料的狀態(tài)和每一片晶圓的生產(chǎn)過(guò)程，從而保證產(chǎn)品的品質(zhì)。AMHS系統在半導體行業(yè)被廣泛應用，如半導體IC晶圓廠(chǎng)中使用的天車(chē)系統等，但由于其成本投入巨大，在LED晶圓工廠(chǎng)難以實(shí)施，所以L(fǎng)ED晶圓傳輸基本上處于人工操作的原始狀態(tài)，效率較低，也無(wú)法滿(mǎn)足如Mini LED，Micro LED等高端產(chǎn)品的高品質(zhì)要求。

      福賽特自主研發(fā)的MOCVD AMHS智能物流系統，已經(jīng)在行業(yè)頭部客戶(hù)處投入運行生產(chǎn)。該系統實(shí)現MOCVD工藝設備的晶圓倒片、晶圓傳輸以及數據記錄和追溯功能，有效降低了人工成本，并通過(guò)全自動(dòng)生產(chǎn)的方式減少了人工參與造成的產(chǎn)品不良，降低了石墨盤(pán)的損耗從而提高了其使用壽命。  

      該系統主要分為倒片區設備和MOCVD工藝設備區設備。倒片區設備主要包括晶圓倒片機，電子貨架、倒片區定制AGV和AGV充電設備；MOCVD工藝設備區設備主要包括MOCVD工藝設備、MOCVD中轉單元、工藝設備區定制AGV和AGV充電設備。除MOCVD工藝設備外的其它所有設備均由上海福賽特機器人有限公司提供。MOCVD AMHS智能物流系統具有全自動(dòng)、高節拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點(diǎn)。

MOCVD AMHS智能物流系統具有全自動(dòng)、高節拍、高精度、高配置、智能化、可擴展等特點(diǎn)。

· AGV運載石墨盤(pán)根據調度系統指令自動(dòng)在電子貨架、晶圓倒片機、MOCVD中轉單元之間對接；

· 電子貨架存儲石墨盤(pán)且與中控系統實(shí)時(shí)通訊并監控石墨盤(pán)狀態(tài)；

· 晶圓倒片機實(shí)現自動(dòng)上下石墨盤(pán)、Pocket自動(dòng)清潔、晶圓mapping、晶圓尋邊、Wafer ID讀取、自動(dòng)上片、自動(dòng)下片、Wafer ID與盤(pán)SN綁定LINK后上傳至MES；

·MOCVD中轉單元與MOCVD工藝設備無(wú)縫對接，實(shí)現自動(dòng)上下石墨盤(pán)，收集MOCVD腔體狀態(tài)信息并與中控系統通訊；

·該系統上下片的節拍為425pcs/小時(shí)；產(chǎn)品良率≧99.9%；晶圓片上下片重復定位精度可達到±0.05mm，±0.1度以?xún)取?/span>

       MOCVD AMHS 智能物流系統能夠大幅提升工藝設備的運行效率，顯著(zhù)提升產(chǎn)品良率，是LED半導體高端制造的首選。福賽特將繼續深耕半導體設備行業(yè)，在已推出的PVD晶圓倒片機，PSS晶圓上下片機，MOCVD AMHS系統等獨家自主研發(fā)產(chǎn)品的基礎上，繼續加大研發(fā)力度，進(jìn)一步優(yōu)化交付和服務(wù)質(zhì)量，成為中國領(lǐng)先的LED半導體AMHS設備提供商！