在顯著(zhù)提升晶圓良率的同時(shí)，生產(chǎn)效率也穩步提高，由上海福賽特智能設備有限公司獨立研發(fā)的國內首款LED半導體晶圓倒片機今年量產(chǎn)，長(cháng)三角G60科創(chuàng )走廊研發(fā)成果填補了行業(yè)空白。

昨天下午，記者走進(jìn)上海福賽特智能設備有限公司生產(chǎn)車(chē)間，看見(jiàn)數十臺LED半導體晶圓倒片機一字排開(kāi)，技術(shù)人員正在對月底即將交付客戶(hù)的設備進(jìn)行最后的調試。這批設備具有獨立的潔凈空間，“實(shí)現了無(wú)人化操作，可最大程度提高產(chǎn)品品質(zhì)和良率，同時(shí)保證了產(chǎn)品信息可跟蹤可回溯。”該公司智能設備事業(yè)部副總經(jīng)理劉純君介紹說(shuō)，這批設備是交付給三安集團的，三安集團作為國內LED晶圓制造業(yè)的龍頭企業(yè)，對產(chǎn)品品質(zhì)要求很高。

劉純君告訴記者，此設備用在LED半導體外延工藝段，可實(shí)現晶圓從原料倉至PVD（物理氣相沉積）工序之間以及PVD工序到MOCVD（金屬有機物化學(xué)氣相沉積）工序之間的周轉。在福賽特推出此設備之前，這種周轉主要通過(guò)人工操作完成。人工操作引入的污染會(huì )對產(chǎn)品品質(zhì)產(chǎn)生很大影響，因為人為失誤造成的產(chǎn)品或載具損傷浪費不小。而且，人工操作和周轉中斷了設備信息流和數據流，不利于產(chǎn)品信息追蹤及回溯。福賽特LED半導體晶圓倒片機的推出，解決了行業(yè)痛點(diǎn)。據介紹，該設備采用行業(yè)領(lǐng)先的潔凈機器人、先進(jìn)的激光傳感器和CCD，以及自主研發(fā)的載盤(pán)尋邊器等，配合自主研發(fā)的成熟先進(jìn)的信息化系統，可自動(dòng)與企業(yè)生產(chǎn)的“中樞神經(jīng)”MES系統實(shí)現數據交互，形成“周?chē)窠?jīng)系統”，連接各個(gè)工藝段中的獨立設備系統，即“神經(jīng)末梢”，組成閉環(huán)的智能信息化系統。同時(shí)，可實(shí)現晶圓自動(dòng)上下片、晶圓尋邊、晶圓Wafer ID自動(dòng)讀取和校對、生產(chǎn)工單的解批和并批等。

“在集成電路半導體行業(yè)，晶圓倒片設備多數嵌入核心設備內部，并由國外幾家大公司壟斷，其設備價(jià)格高昂，生產(chǎn)效率低下，無(wú)法滿(mǎn)足LED半導體行業(yè)的體量需求，所以L(fǎng)ED半導體行業(yè)一直沒(méi)有合適的晶圓倒片解決方案。我們通過(guò)LED全制程分析，從LED外延段入手，目前第一款設備LED半導體晶圓倒片機已經(jīng)量產(chǎn)，PSS工藝段的第二款產(chǎn)品PSS自動(dòng)上片機已經(jīng)研制成功，目前我們正與國內LED主設備龍頭企業(yè)洽談，擬合作研發(fā)嵌入式晶圓倒片模塊，支持新一代國產(chǎn)MOCVD和PVD設備的研制。”上海福賽特智能設備有限公司總經(jīng)理張丹說(shuō)。

“LED半導體晶圓倒片機中包含的機電設計、控制軟件、智能算法等十多項知識產(chǎn)權，都是由我們公司獨立自主研發(fā)的。這套設備的成功研制，實(shí)現了我國在半導體行業(yè)高端設備領(lǐng)域的重大突破，打破了國外巨頭的長(cháng)期壟斷，填補了行業(yè)空白。”張丹說(shuō)。